拉曼應用-以拉曼光譜確認IGZO薄膜中石墨烯成分之存在

以拉曼光譜確認IGZO薄膜中石墨烯(Graphene)成分之存在

石墨烯經由CVD製程轉置於IGZO薄膜後附著於Polyimide材料、Ti薄膜與保護層
參雜石墨烯大幅提升IGZO film物理性質
以顯微拉曼光譜其製程完成後確認IGZO層仍保有石墨烯成分

         


       成品斷面SEM影像

 


     Graphene/Polyimide轉置IGZO薄膜前之拉曼光譜,I2D/IG ≈8

 


Ti/IGZO/graphene/PI薄膜量測Graphene 拉曼光譜,I2D/IG ≈0.38

(MRI532S,Protrustech,Taiwan)